Reactive Sputter Deposition

Reactive Sputter Deposition

AngličtinaMěkká vazbaTisk na objednávku
Springer, Berlin
EAN: 9783642095368
Tisk na objednávku
Předpokládané dodání v pátek, 28. února 2025
7 899 Kč
Běžná cena: 8 777 Kč
Sleva 10 %
ks
Chcete tento titul ještě dnes?
knihkupectví Megabooks Praha Korunní
není dostupné
Librairie Francophone Praha Štěpánská
není dostupné
knihkupectví Megabooks Ostrava
není dostupné
knihkupectví Megabooks Olomouc
není dostupné
knihkupectví Megabooks Plzeň
není dostupné
knihkupectví Megabooks Brno
není dostupné
knihkupectví Megabooks Hradec Králové
není dostupné
knihkupectví Megabooks České Budějovice
není dostupné
knihkupectví Megabooks Liberec
není dostupné

Podrobné informace

The most straightforwardmethod to change the surface properties of a ma- rial is to deposit a thin ?lm or coating on it. Hence, it is not surprising that an overwhelming amount of scienti?c and technical papers is published each year on this topic. Sputter deposition is one of the many so-called physical vapour deposition (PVD) techniques. In most cases, sputter deposition uses a magnetically enhanced glow discharge or magnetron discharge to produce the ions which bombard and sputter the cathode material. In the ?rst chapter of this book (Chap. 1), the details of the sputter process are discussed. Essential to sustain the discharge is the electron emission during ion bombardment. Indeed, the emitted electrons are accelerated from the target and can ionize gas atoms. The formed ions bombard again the target completing the s- taining process. A complete chapter is assigned to this process to highlight its importance (Chap. 2). Although the sustaining process can be described quite straightforward, a complete understanding of the magnetron discharge and the in?uence of di?erent parameters on the discharge characteristics is onlypossiblebymodelling(seeChap.3).Withthesethreechapters,thereader should be able to form an idea of the target and plasma processes occurring during a DC magnetron discharge.
EAN 9783642095368
ISBN 3642095364
Typ produktu Měkká vazba
Vydavatel Springer, Berlin
Datum vydání 25. listopadu 2010
Stránky 572
Jazyk English
Rozměry 235 x 155
Země Germany
Sekce Professional & Scholarly
Ilustrace XVIII, 572 p.
Editoři Depla Diederik; Mahieu Stijn
Edice Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2008
Série Springer Series in Materials Science