Upravlenie Rostom Kristallov Kak Stokhasticheskim Protsessom

Rassmotreny osobennosti rosta kristallov poluprovodnikov pri avtomaticheskom upravlenii i iskusstvennykh vozdeystviyakh na protsess vyrashchivaniya po metodu Chokhral'skogo. V rezul'tate analiza sovremennykh metodov matematicheskogo i fizicheskogo modelirovaniya protsessov rosta kristallov opredeleny osobennosti ispol'zovaniya razlichnykh modeley protsessov. Opredeleny zakonomernosti formirovaniya defektov struktury monokristallov i raspredeleniya primesey v svyazi s upravlyayushchimi vozdeystviyami, rassmotreny metody i algoritmy snizheniya poloschatoy neodnorodnosti kristallov poluprovodnikovykh soedineniy AIIIVV za schet ispol'zovaniya spetsial'nykh "nizkoenergeticheskikh vozdeystviy", vklyuchayushchikh napravlennoe izmenenie parametrov upravleniya protsessom s ispol'zovaniem informatsii obratnoy svyazi po kolebaniyam temperatury v rasplave.