Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf

GermanEbook
Morlok, Oliver
Springer Berlin Heidelberg
EAN: 9783662066560
Available online
CZK 872
Common price CZK 969
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pc
EAN 9783662066560
ISBN 3662066564
Binding Ebook
Publisher Springer Berlin Heidelberg
Publication date July 1, 2013
Language German
Country Germany
Authors Morlok, Oliver
Series IPA-IAO - Forschung und Praxis