Croissance et caractérisation d'une couche mince d'ITO par pulvérisation magnétron

Dans cette étude, des couches minces d'oxyde d'étain et d'indium (ITO) ont été produites par des techniques de pulvérisation magnétron DC et RF. Pour connaître la vitesse de dépôt de l'ITO, le système a été calibré pour les deux techniques DCMS et RFMS, puis les ITO ont été cultivés sur un substrat de verre d'une épaisseur de 70 nm et 40 nm en changeant la température du substrat. L'effet de la température du substrat, de l'épaisseur du film et de la méthode de pulvérisation sur les propriétés structurelles, électriques et optiques a été étudié. Les résultats montrent que la température du substrat et l'épaisseur du film affectent considérablement les propriétés du film, en particulier la cristallisation et la résistivité. Les couches minces cultivées à moins de 150 oC présentaient une structure amorphe. Cependant, la cristallisation a été détectée avec l'augmentation de la température du substrat. La bande interdite de l'ITO a été calculée à environ 3,64eV à la température du substrat de 150 oC, et elle a été élargie avec l'augmentation de la température du substrat. Des mesures électriques ont permis d'obtenir une résistivité à température ambiante de 1,28×10-4 et 1,29×10-4 D-cm, respectivement pour les films pulvérisés DC et RF. Nous avons également mesuré la résistivité en fonction de la température et le coefficient de Hall des films, et nous avons calculé la concentration des porteurs et la mobilité de Hall.