Planare dielektrisch behinderte Entladungen

Inhaltlich unveränderte Neuauflage. Die Atmosphärendruck-Plasmaquellen sind von zunehmender Bedeutung für ei ne Vielfalt industrieller Anwendungen, da diese Technologie nicht nur mit ei ner Kostenreduktion verbunden ist, sondern auch deshalb, da die In te gra tion in bestehende Fertigungseinrichtungen viel einfacher im Vergleich zur Va kuumtechnologie ist.Ziel dieser Arbeit ist die Charakterisierung und Opti mierung von auf Bar rie ren ent ladungen beruhenden planaren Plasmaquellen. Diese Quellen können mo du lar aufgebaut werden und sind daher im Prinzip für eine Behandlung von groß flächigen planaren Oberflächen bei Atmos phärendruck geeignet. Einige An wendungsbeispiele solcher Plasmen für die Behandlung verschiedener Ma te rialien (Metalloberfläche, Kunststoff, Natur gewebe) werden in der vor lie gen den Arbeit erläutert.Das Buch richtet sich an Diplomanden, Doktoranden und Wissenschaftler im Be reich der Plasmaphysik bzw. an Techniker und Ingenieure in Unternehmen, die im Bereich der Plasmatechnik bei Atmosphärendruck tätig sind.