Efecto del flujo de nitrógeno en recubrimientos de TiAlNO

En este trabajo se realizaron varias deposiciones para sintetizar recubrimientos de oxinitruro de titanio aluminio (TiAlNO) analizando el efecto que tiene el flujo de nitrógeno durante la deposición por la técnica de erosión catódica o sputtering. También se describen las técnicas de caracterización utilizadas en los recubrimientos fabricados como difracción de rayos X, microdureza Vickers, resistividad eléctrica y colorimetría. El trabajo comienza con una breve descripción de lo que son los recubrimientos duros, su importancia e impacto que han tenido hoy en día. Posteriormente se hace una reseña de lo que es el proceso de erosión catódica, su principio básico de funcionamiento, los diferentes tipos de erosión catódica y los usos que tiene. Se describe la metodología usada para sintetizar y caracterizar estos recubrimientos. Al final se plantean todos los resultados de cada una de las caracterizaciones y se discute el porqué de los resultados, concluyendo el efecto que causa la variación del flujo de nitrógeno en su estructura, dureza, color y resistividad eléctrica.